ø型号：电镜-fei nova nanosem450（美国fei公司）/能谱-x-max50（英国牛津仪器公司）/ebsd-nordlys max（英国牛津仪器公司）
ø 性能指标：电镜二次电子分辨率：0.8nm（30kv）；加速电压：0.5kv~30kv；放大倍数：35-900,000倍；能谱分辨率123ev（mn ka）。
ø主要功能：能做各种固态样品表面形貌的二次电子像，背散射电子像观察及图像处理；配备有x射线能谱仪，可以进行样品表层的微区（点、线、面）的定性、半定量和定量分析；同时配备ebsd，可以进行取向和取向差异的测量、微织构分析、相鉴定、应变和真实晶粒尺寸的测量。
